Неколико несакупљених честица или молекула гаса могу имати изузетно озбиљне последице у неким процесима. Замислите само какву штету контаминирани ваздух може да нанесе производњи полупроводника, чврстих дискова и другим веома осетљивим процесима.
У производњи полупроводника, напредне производне методе захтевају веома чист ваздух са захтевима за чистоћом који се стално повећавају. Критична величина честица за окружење плочице је сада испод 25 нм (2009) и предвиђа се да ће се ова величина наставити да се смањује ка 10 нм до 2017. Молекуларна контаминација из ваздуха (АМЦ) је сада главни проблем за све напредне микроелектронске фабрике. Уочен је широк спектар АМЦ ефеката који утичу на принос производње. На пример, показало се да кисела корозија чврстих дискова или плочица, кондензабилно органско таложење на осетљивим површинама или излагање ниским нивоима амонијака утичу на различите кораке процеса.
Срце чисте собе су њени филтери, али постоји низ разматрања у вези са класификацијом просторија, избором филтера и начином на који филтери утичу на животну средину.
САФ је у доброј позицији да препоручи најбоље решење за напредну контролу честица и АМЦ захваљујући више од 16 година искуства у области микроелектронике и контроле контаминације полупроводника, као и кроз наше учешће у Међународној технолошкој мапи пута за полупроводнике.
ХЕПА, УЛПА и молекуларни филтери се производе у контролисаним окружењима у САФ-овим ИСО 9000 сертификованим постројењима. Можемо произвести исти тип филтера на више производних локација. Наш велики производни капацитет обезбеђује доступност наших производа у сваком тренутку широм света.
Заштита:
-
Области и полупроводници
-
Микроелектронска процесна опрема
-
Хард дискови
-
Штампане плоче
-
Дисплеји са равним екраном
-
Соларни панели